🧪 kosha2014_060_062
📄 이 사건의 질병 레코드
⚗️ 유해물질 측정 0건
측정정보가 없습니다.
📅 노출기간 2건
| 시작시기 | 종료시기 | 총기간 | 빈도 | 원문 인용 |
|---|---|---|---|---|
| 1997년 9월 | 2001년 10월 | 약 4년간 | — | 1997년 □사업장에 입사하여 약 4년간 확산공정에서 오퍼레이터로 확산설비의 운영, 계측, 디캡 작업을 수행하였고 |
| — | — | — | 30분에서 1시간 정도 | 오퍼레이터는 해당 세척조의 덮개를 젖혀서 캐리어를 대략 30분에서 1시간 정도 담가둔 상태에서 다른 작업을 하다가 수시로 육안으로 확인한 뒤 식각이 끝났다고 판단되면 |
🏭 작업환경 3건
| 공정 | 환기설비 | 환기 불량한 공간 | 원문 인용 |
|---|---|---|---|
| 확산(Diffusion)공정에서 오퍼레이터로 확산설비의 운영, 계측, 디캡(Decap)작업 | — | — | 웨이퍼를 생산하는 확산(Diffusion)공정에서 오퍼레이터로 확산설비의 운영, 계측, 디캡(Decap)작업을 수행하였다. |
| 디캡작업: 식각장비(4개의 세척조·증류수·스핀드라이)를 이용하여 기존의 막을 제거하는 과정 | — | — | 사용되는 식각장비는 4개의 세척조와 증류수, 스핀드라이로 구성되어 있었으며 오퍼레이터는 해당 세척조의 덮개를 젖혀서 캐리어를 대략 30분에서 1시간 정도 담가둔 상태에서 |
| 검사(계측)작업: 웨이퍼 두께 및 표면저항 측정, 레이저 사용 | — | — | 검사작업은 확산공정에서 산화막형성이 완료되면 웨이퍼의 두께, 표면저항을 측정하여 검사하는 과정으로 웨이퍼의 두께를 측정하기 위하여 레이저를 사용하였으며 |
🦺 보호구 0건
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